一种基板翻转对中装置
基本信息
| 申请号 | CN201210455202.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN103811397A | 公开（公告）日 | 2014-05-21 |
| 申请公布号 | CN103811397A | 申请公布日 | 2014-05-21 |
| 分类号 | H01L21/687(2006.01)I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 程虎 | 申请（专利权）人 | 上海芯源微企业发展有限公司 |
| 代理机构 | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 | 代理人 | 沈阳芯源微电子设备有限公司;沈阳芯源微电子设备股份有限公司 |
| 地址 | 201306 上海市浦东新区临港新片区旭日路501号1幢201、202室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明属于半导体处理系统中对基板处理的技术领域，具体地说是一种基板翻转对中装置。包括保持部II、保持部I、翻转驱动部、平移驱动部、控制部I、控制部II、传动机构I及传动机构II，其中保持部II和保持部I通过传动机构II与平移驱动部连接，通过传动机构I与翻转驱动部连接，所述保持部II和保持部I通过平移驱动部和翻转驱动部的驱动，实现对基板的对中与翻转；所述平移驱动部和翻转驱动部分别与控制部II和控制部I连接。本发明可以不占用机械手臂输送时间的情况下实现晶圆的翻转对中，结构简单，控制灵活。 |
