一种蓝宝石衬底片抛光方法专利查询专利号|摘要-满商公司网

一种蓝宝石衬底片抛光方法

基本信息

申请号	CN201910248636.0	申请日	-
公开（公告）号	CN109807695A	公开（公告）日	2019-05-28
申请公布号	CN109807695A	申请公布日	2019-05-28
分类号	B24B1/00（2006.01）I; C09G1/02（2006.01）I	分类	磨削；抛光;
发明人	徐永亮; 王辽阔; 施海斌; 柳瑞森; 吴鲁; 周波	申请（专利权）人	苏州恒嘉晶体材料有限公司
代理机构	北京弘权知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	苏州恒嘉晶体材料有限公司
地址	215699 江苏省苏州市张家港经济技术开发区杨舍镇晨丰公路357号
法律状态	-

摘要

本申请提供了一种蓝宝石衬底片抛光方法，将铜抛后清洗干净的蓝宝石衬底片按照厚度分组，同一组内晶片厚度差异在10μm以内；提供一个陶瓷盘，陶瓷盘表面平整度在3μm以内，用贴蜡机将一组晶片均匀贴在距陶瓷盘边缘1cm的表面上，蜡冷却后晶片固定在陶瓷盘上；抛光机下盘表面贴上suba600或suba800的抛光布，将陶瓷盘贴有晶片的一面向下放置在抛光布上，下压上盘压紧陶瓷盘并使之跟随上盘同步转动，下盘与上盘同向转动，同时抛光布表面喷上粒径大小为80～350nm的的氧化铝抛光液，氧化铝抛光液与水的体积配比为1:6到1:15；抛光过程中，可以通过对抛光液冷却带走热量使抛光机下盘盘面温度控制在30～40℃；抛光结束后取下陶瓷盘，用毛刷对晶片进行冲水清洗。