一种抛光盘及抛光盘下盘面的冷却系统

基本信息

申请号 CN202011358372.3 申请日 -
公开(公告)号 CN112355888A 公开(公告)日 2021-02-12
申请公布号 CN112355888A 申请公布日 2021-02-12
分类号 B24B37/20(2012.01)I; 分类 磨削;抛光;
发明人 徐永亮;陈宇超;吴鲁;施海斌;姜恒 申请(专利权)人 苏州恒嘉晶体材料有限公司
代理机构 北京弘权知识产权代理事务所(普通合伙) 代理人 逯长明;许伟群
地址 215699江苏省苏州市张家港经济技术开发区杨舍镇晨丰公路1436号
法律状态 -

摘要

摘要 本申请提供一种抛光盘,包括抛光垫、不锈钢盘、热电制冷板、下盘铸件、腔体、外拐角结构、内拐角结构、隔板、进水口和出水口以及旋转盘底座,抛光垫设置在不锈钢盘的上方,不锈钢盘的下方设置有热电制冷板,热电制冷板的下方设置有下盘铸件,下盘铸件与热电制冷板之间设置有腔体,进水口设置在腔体的一端下方,出水口设置在腔体的一端上方,腔体的内部设置有隔板和用于保证水流传导过程中流畅的外拐角结构以及内拐角结构,旋转盘底座设置在腔体的下方。本申请还提供一种抛光盘下盘面的冷却系统。本申请能够实现对抛光盘下盘面温度的快速、精准地调控,极大地提高了蓝宝石的抛光质量和生产效率。