热交换晶体生长系统、冷却气体流量控制方法及装置
基本信息
| 申请号 | CN201410436153.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN105369349B | 公开（公告）日 | 2018-11-09 |
| 申请公布号 | CN105369349B | 申请公布日 | 2018-11-09 |
| 分类号 | C30B27/00 | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
| 发明人 | 徐永亮;廖永建;汪海波 | 申请（专利权）人 | 苏州恒嘉晶体材料有限公司 |
| 代理机构 | 北京弘权知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 苏州恒嘉晶体材料有限公司 |
| 地址 | 201203 上海市浦东新区张江高科技园区丹桂路799号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供了一种冷却气体流量控制方法，所述的冷却气体流量控制方法用于热交换晶体生长系统的冷却气体流量控制，所述的方法包括以下步骤：11)获取冷却气体热交换后的温度以及冷却气体当前流量；12)根据冷却气体热交换后的温度和预设传热速率计算冷却气体目标流量；13)调节冷却气体当前流量趋向于冷却气体目标流量。本发明还提供了一种冷却气体流量控制装置，以及具有该装置的热交换晶体生长系统。上述方案能够解决目前通过冷却气体流量‑时间关系曲线控制冷却气体流量来实现晶体生长所存在适应性和晶体一致性较差的问题。 |
