一种高纯硫酸的连续生产方法
基本信息
| 申请号 | CN202011586083.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112279220B | 公开（公告）日 | 2021-03-23 |
| 申请公布号 | CN112279220B | 申请公布日 | 2021-03-23 |
| 分类号 | C01B17/90 | 分类 | 无机化学; |
| 发明人 | 王涛;王箫;赵继舟;张雪梅;徐念;徐刚;徐浩;刘松 | 申请（专利权）人 | 江苏捷创新材料有限责任公司 |
| 代理机构 | 苏州创元专利商标事务所有限公司 | 代理人 | 汪青;向亚兰 |
| 地址 | 215000 江苏省苏州市吴中区郭巷街道尹丰路39号1幢4层408室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种高纯硫酸的连续生产方法，包括依次进行的发烟硫酸的解析工序、三氧化硫的精制工序、三氧化硫的吸收工序以及真空等离子体脱二氧化硫工序，通过解析获得二氧化硫含量低于0.4%的三氧化硫，通过精制使其中单项金属阳离子含量低于5ppt、二氧化硫低于20ppm；在脱二氧化硫工序中，采用装有填料并配备等离子激发装置的脱气塔，将硫酸自上而下通过脱气塔，使硫酸在填料表面形成降膜，同时自下而上通入氧气和使脱气塔内形成氧‑二氧化硫等离子体，最终获得高纯硫酸。本发明生产效率高，能耗低，污染物排放少、工艺稳定性和安全性好，产品质量稳定，产品品质好，可用于高集成度芯片的清洗和刻蚀。 |
