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MEMS继电器、悬臂梁开关及其形成方法

基本信息

申请号	CN201410151001.6	申请日	-
公开（公告）号	CN103943420B	公开（公告）日	2017-06-23
申请公布号	CN103943420B	申请公布日	2017-06-23
分类号	H01H59/00;H01H49/00	分类	基本电气元件;
发明人	阮勇;马波;常双凯;张高飞;尤政	申请（专利权）人	江苏智能微系统工业技术股份有限公司
代理机构	北京清亦华知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	清华大学
地址	100084 北京市海淀区100084-82信箱
法律状态	-

摘要

本发明公开了一种MEMS继电器，包括：至少一个悬臂梁开关对，其包括两个呈轴对称分布且自由端位置邻近的悬臂梁开关，每个悬臂梁开关包括：悬臂结构；与悬臂结构的固定端相连的驱动上电极；位于悬臂结构下方的驱动下电极；位于悬臂结构的自由端的且与其绝缘的开关动触点；位于开关动触点下方的两个开关静触点；开关引线，开关引线与开关静触点相连，用于输出控制信号，其中，当两个悬臂梁开关为并联时，开关引线包括呈中心对称分布的两个F形引线；其中，当两个悬臂梁开关为串联时，开关引线包括呈轴对称分布的一个U形引线和两个L形引线。本发明的MEMS继电器具有布局紧凑，承载电压或承载功率高的优点。本发明还公开了一种悬臂梁开关及其形成方法。