一种MEMS原子蒸气腔室的制备方法及原子蒸气腔室
基本信息
| 申请号 | CN201110164720.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN102259825B | 公开（公告）日 | 2015-04-08 |
| 申请公布号 | CN102259825B | 申请公布日 | 2015-04-08 |
| 分类号 | B81C1/00(2006.01)I;B81C3/00(2006.01)I;B81B3/00(2006.01)I | 分类 | 微观结构技术〔7〕; |
| 发明人 | 阮勇;马波;陈硕;尤政 | 申请（专利权）人 | 江苏智能微系统工业技术股份有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 100084 北京市100084信箱82分箱清华大学专利办公室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种MEMS原子蒸气腔室的制备方法及原子蒸气腔室。腔室采用阳极键合技术，由Pyrex玻璃片-硅片-Pyrex玻璃片键合构成。Pyrex玻璃片作为腔室的窗口，硅片刻蚀或腐蚀出腔室空间。腔室中放入石蜡封装的碱金属铷或铯，同时充入适当压力的缓冲气体。石蜡作为碱金属的封装材料，实现活泼的碱金属与环境中的氧气、水蒸汽等氧化剂隔离；同时作为腔室的镀层材料，减缓了Rb或Cs原子与腔壁的碰撞。利用CO2激光器消融石蜡释放碱金属，在腔壁上形成均匀的石蜡镀层。本发明克服了现场制作方式产生的反应残留物所导致的长期漂移问题，并减缓了Rb或Cs原子与腔壁的碰撞，提高了碱金属原子共振线宽的对比度。 |
