一种抗粘附RF MEMS开关
基本信息
| 申请号 | CN201610959725.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN106602183B | 公开（公告）日 | 2020-03-10 |
| 申请公布号 | CN106602183B | 申请公布日 | 2020-03-10 |
| 分类号 | H01P1/10;B81C1/00 | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 赵嘉昊;李沐华;尤政 | 申请（专利权）人 | 江苏智能微系统工业技术股份有限公司 |
| 代理机构 | 北京清亦华知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 清华大学 |
| 地址 | 100084 北京市海淀区清华园 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种抗粘附RF MEMS开关，包括共面波导、锚区、扭转梁、第一驱动电极、第二驱动电极、第一抗粘附电极、第二抗粘附电极，所述锚区、扭转梁、第一驱动电极、第二驱动电极、第一抗粘附电极和第二抗粘附电极均设置在所述共面波导上，所述第一驱动电极和所述第一抗粘附电极均与所述扭转梁连接，所述第一驱动电极、所述扭转梁和所述第一抗粘附电极组成跷跷板结构。本发明具有如下优点：驱动电极之间抗粘附，且结构简单成本低。 |
