耐高温无线MEMS温度传感系统
基本信息
| 申请号 | CN201410426020.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN104198060B | 公开（公告）日 | 2017-01-18 |
| 申请公布号 | CN104198060B | 申请公布日 | 2017-01-18 |
| 分类号 | G01K1/02(2006.01)I;G01K7/32(2006.01)I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 尤政;王伟忠;阮勇;陈硕 | 申请（专利权）人 | 江苏智能微系统工业技术股份有限公司 |
| 代理机构 | 北京清亦华知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 张大威 |
| 地址 | 100084 北京市海淀区100084-82信箱 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提出一种耐高温无线MEMS温度传感系统，包括：无线问询单元，用于发送/接收电磁波信号，测量、存储和处理温度数据，并将温度数据作为最终传感信号；声表面波谐振装置，用于接收来自所述无线问询单元的电磁波信号，并将电磁波信号转换为声表面波后，再次将声表面波转换为新的电磁波信号，以及将新的电磁波信号反馈给无线问询单元；显示装置，用于接收并显示来自无线问询单元的温度测量结果。本系统具有无源、无线、耐高温、体积小、能够实时测量的优点。 |
