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MEMS开关的自吸合功率测试系统及方法

基本信息

申请号 CN201711022974.X 申请日 -
公开（公告）号 CN107782476A 公开（公告）日 2018-03-09
申请公布号 CN107782476A 申请公布日 2018-03-09
分类号 G01L3/24 分类 测量；测试;
发明人 赵嘉昊;谷明玥 申请（专利权）人 江苏智能微系统工业技术股份有限公司
代理机构 北京清亦华知识产权代理事务所（普通合伙） 代理人 清华大学
地址 100084 北京市海淀区清华园
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种MEMS开关的自吸合功率测试系统及方法，MEMS开关包括共面波导和可动极板，包括：功率施加模块，功率施加模块用于向共面波导上输入可调射频信号以驱动所述可动极板运动；检测模块，检测模块用于检测可动极板是否运动以判断MEMS开关是否产生自吸合现象，检测可动极板的运动位移变化以测试MEMS开关的自吸合功率。本发明通过向MEMS开关输入射频信号驱动MEMS开关的可动极板运动，检测模块检测可动极板是否运动，并在其运动后检测运动的位移变化来检测MEMS开关的自吸合功率，这样通过测试自吸合功率的方法使得测试系统更加标准化和实用化。