一种提高电流注入的掩埋型分布反馈半导体结构

基本信息

申请号 CN201920110029.3 申请日 -
公开(公告)号 CN209358060U 公开(公告)日 2019-09-06
申请公布号 CN209358060U 申请公布日 2019-09-06
分类号 H01S5/12(2006.01)I; H01S5/223(2006.01)I; H01S5/323(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 刘从军; 王兴; 张海超; 岳宗豪; 许众; 赵赫; 王凡; 高晨 申请(专利权)人 陕西源杰半导体科技股份有限公司咸阳分公司
代理机构 西安通大专利代理有限责任公司 代理人 陕西源杰半导体技术有限公司咸阳分公司
地址 712000 陕西省咸阳市西咸新区沣西新城总部经济园9号楼1311室
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型提供的一种提高电流注入的掩埋型分布反馈半导体结构,包括具有P‑InP/N‑InP同质结结构的衬底,该衬底的表面形成有波导结构,该波导结构的两侧波导区分别形成有N‑InP结构,所述N‑InP结构的高度大于波导结构的高度,使得在波导区正上方形成漏斗状结构;本实用新型提供的一种提高电流注入的掩埋型分布反馈半导体结构,包括具有P‑InP/N‑InP同质结结构的衬底,该衬底的表面形成有波导结构,该波导结构的两侧波导区分别形成有N‑InP结构,所述N‑InP结构的高度大于波导结构的高度,使得在波导区正上方形成漏斗状结构。