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一种柔性压电薄膜的制备方法

基本信息

申请号 CN201811281409.X 申请日 -
公开（公告）号 CN109378382A 公开（公告）日 2019-02-22
申请公布号 CN109378382A 申请公布日 2019-02-22
分类号 H01L41/45 分类 基本电气元件;
发明人 牛杰 申请（专利权）人 嘉兴市海德姆智能电气有限公司
代理机构 - 代理人 -
地址 314019 浙江省嘉兴市秀洲区油车港镇正阳西路111号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明提供了一种柔性压电薄膜的制备方法，包括以下步骤：取钛酸四丁酯，依次滴加异丙醇和乙酰丙酮，搅拌均匀；加入冰醋酸，搅拌均匀；加硝酸铋，搅拌至完全溶解，加去离子水，搅拌；加乙酸钠，在磁力搅拌器上搅拌至完全溶解，加入甲酰胺搅拌；在密闭的环境中静置，得溶胶A；将基板热处理，冷却，放在匀胶机的真空吸盘上空转，空转期间分别用酒精和去离子水冲洗表面；基板放在匀胶机上，滴加溶胶A，启动匀胶机匀胶；干燥；升温热处理；冷却后再继续甩胶叠层，加热至700℃退火处理5‑10min即得。本法所制备的柔性压电薄膜的介电常数高，剩余极化强度高，同时其压电系数也高，压电性能好，将电能转换为机械能的能力好。