一种环保型紫外正性光刻胶的制备方法
基本信息
| 申请号 | CN201811262786.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN109445250A | 公开（公告）日 | 2019-03-08 |
| 申请公布号 | CN109445250A | 申请公布日 | 2019-03-08 |
| 分类号 | G03F7/039;G03F7/004 | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 牛杰 | 申请（专利权）人 | 嘉兴市海德姆智能电气有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 314019 浙江省嘉兴市秀洲区油车港镇正阳西路111号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供了一种环保型紫外正性光刻胶的制备方法，包括以下步骤：将酚醛环氧树脂和对苯二酚在室温下搅拌混合均匀，通氮气；升温，逐滴加丙烯酸和N,N‑二甲基苯胺的混合溶液反应；加温水搅拌洗涤，静置分层，弃去水层；加三乙胺盐酸盐和水，搅拌升温反应；在真空下脱去大量水分至粘稠状，再加入甲苯共沸脱去剩余的水分，加丙酮搅拌回流后弃去上层清液；移至红外灯下干燥，真空干燥，取出后研得粉末A；取粉末A、费氏弧菌冻干粉、补骨脂素、乙二醇甲醚乙酸酯和乳酸乙酯混合，磁力搅拌；用超滤膜过滤即得。本法所制备的环保型紫外正性光刻胶的留膜率高，使光刻图形不易在显影液中溶解失真，同时图形对比度高，分辨率佳，具有很好的光刻效果。 |
