GaN基半导体结构
基本信息
申请号 | CN202122239416.7 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN215933615U | 公开(公告)日 | 2022-03-01 |
申请公布号 | CN215933615U | 申请公布日 | 2022-03-01 |
分类号 | H01L29/778(2006.01)I;H01L29/06(2006.01)I | 分类 | 基本电气元件; |
发明人 | 程凯 | 申请(专利权)人 | 苏州晶湛半导体有限公司 |
代理机构 | 北京博思佳知识产权代理有限公司 | 代理人 | 林祥 |
地址 | 215123江苏省苏州市苏州工业园区金鸡湖大道99号西北区20幢517-A室 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本实用新型提供了一种GaN基半导体结构,包括:衬底,沟道层与势垒层,沟道层与势垒层包括栅极区域、源极区域与漏极区域;位于源极区域上的源区N型离子重掺杂,位于漏极区域上的漏区N型离子重掺杂层;以及位于栅极区域上的栅极、位于源区N型离子重掺杂层上的源极与位于漏区N型离子重掺杂层上的漏极。根据本实用新型的实施例,可以增大二维电子气在源极至沟道,和/或沟道至漏极路径上的收集面积,从而降低通过电阻。 |
