GaN基半导体结构

基本信息

申请号 CN202122239416.7 申请日 -
公开(公告)号 CN215933615U 公开(公告)日 2022-03-01
申请公布号 CN215933615U 申请公布日 2022-03-01
分类号 H01L29/778(2006.01)I;H01L29/06(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 程凯 申请(专利权)人 苏州晶湛半导体有限公司
代理机构 北京博思佳知识产权代理有限公司 代理人 林祥
地址 215123江苏省苏州市苏州工业园区金鸡湖大道99号西北区20幢517-A室
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型提供了一种GaN基半导体结构,包括:衬底,沟道层与势垒层,沟道层与势垒层包括栅极区域、源极区域与漏极区域;位于源极区域上的源区N型离子重掺杂,位于漏极区域上的漏区N型离子重掺杂层;以及位于栅极区域上的栅极、位于源区N型离子重掺杂层上的源极与位于漏区N型离子重掺杂层上的漏极。根据本实用新型的实施例,可以增大二维电子气在源极至沟道,和/或沟道至漏极路径上的收集面积,从而降低通过电阻。