化学机械研磨用的晶圆固定座
基本信息
| 申请号 | CN202022751329.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN213999052U | 公开（公告）日 | 2021-08-20 |
| 申请公布号 | CN213999052U | 申请公布日 | 2021-08-20 |
| 分类号 | B24B37/30（2012.01）I | 分类 | 磨削；抛光; |
| 发明人 | 汪戬 | 申请（专利权）人 | 中盛兴业科技发展有限公司 |
| 代理机构 | 苏州市方略专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 朱智杰 |
| 地址 | 315000浙江省宁波市高新区清逸路66号044幢301-249 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型提供一种化学机械研磨用的晶圆固定座，所述晶圆固定座为扁平片状的弹性结构体，并具有承载面及背面，其中所述承载面供以承载晶圆，且所述承载面一侧朝所述背面方向凹设成形有通气流道，所述通气流道的一端与所述晶圆固定座侧缘相互连接，另一端未与所述晶圆固定座侧缘相互连接。藉此，本实用新型的晶圆固定座无须针对不同尺寸晶圆备有不同载具，而可适应于各尺寸晶圆且快速固定并完成移除作业，大幅降低制程成本，减少移除时应力所造成的破片现象与不便性。 |
