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一种连续式扩散炉及其通气方法

基本信息

申请号 CN201310163068.7 申请日 -
公开（公告）号 CN103225111A 公开（公告）日 2013-07-31
申请公布号 CN103225111A 申请公布日 2013-07-31
分类号 C30B31/10(2006.01)I;C30B31/16(2006.01)I 分类 晶体生长〔3〕;
发明人 陆利新;郑荣豪;陈荣莲 申请（专利权）人 上海煦康电子科技有限公司
代理机构 上海思微知识产权代理事务所（普通合伙） 代理人 上海煦康电子科技有限公司
地址 200233 上海市徐汇区田林路140号28幢511幢
法律状态 -

摘要

摘要 本发明提供一种连续式扩散炉，包括：两端开口的炉体；一端开口、另一端封闭的第一进气管，第一进气管固定设置在炉体的腔内壁，第一进气管的管壁上均匀开设有若干小孔，小孔远离炉体的腔内壁；一端开口、另一端封闭的第二进气管，第二进气管固定设置在炉体的腔内壁，第二进气管的管壁上均匀开设有若干小孔，小孔远离炉体的腔内壁；排气管，固定设置在炉体腔内壁，排气管两端均开口，并向排气管两端提供有负压，排气管的管壁上开设有若干小孔，小孔远离炉体的腔内壁。本发明提供的连续式扩散炉的通气方法，实现了同一批次的硅片周围反应气体密度一致，硅片结成的PN结较为均匀，同时使用两个通气管通气，避免了通气管孔堵塞。