一种连续式扩散炉炉管
基本信息
| 申请号 | CN201320239479.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN203250728U | 公开（公告）日 | 2013-10-23 |
| 申请公布号 | CN203250728U | 申请公布日 | 2013-10-23 |
| 分类号 | H01L21/687(2006.01)I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 陆利新;郑荣豪;陈荣莲 | 申请（专利权）人 | 上海煦康电子科技有限公司 |
| 代理机构 | 上海思微知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 上海煦康电子科技有限公司 |
| 地址 | 200233 上海市徐汇区田林路140号28幢511室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型提供一种连续式扩散炉炉管，包括：炉体；以及与炉体内腔壁一体成型的两排托架，两排所述托架之间具有高度差。本实用新型提供的连续式扩散炉炉管，由于设置了与炉体内腔壁一体成型的两排托架，使载有硅片的桨叶在运行的过程中避免产生挠度，有效地延长了桨叶的使用寿命，并且两排托架之间具有的高度差能够使桨叶之间进行平稳交接。 |
