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连续式扩散炉

基本信息

申请号 CN201330177025.5 申请日 -
公开（公告）号 CN302642329S 公开（公告）日 2013-11-13
申请公布号 CN302642329S 申请公布日 2013-11-13
分类号 23-03 分类 -
发明人 陆利新;李桂琴;张生才 申请（专利权）人 上海煦康电子科技有限公司
代理机构 上海思微知识产权代理事务所（普通合伙） 代理人 郑玮
地址 200233 上海市徐汇区田林路140号28幢511室
法律状态 -

摘要

摘要 1．本外观设计产品的名称：连续式扩散炉。2．本外观设计产品的用途：本外观设计产品用于硅片扩散。3．本外观设计产品的设计要点：产品的整体形状。4．最能表明本外观设计设计要点的图片或照片：立体图。