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一种气体预热装置、扩散炉及进气预热的方法

基本信息

申请号 CN201310163639.7 申请日 -
公开（公告）号 CN103243393A 公开（公告）日 2013-08-14
申请公布号 CN103243393A 申请公布日 2013-08-14
分类号 C30B31/06(2006.01)I;C30B33/00(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I 分类 晶体生长〔3〕;
发明人 陆利新;陈荣莲;杜鹏程 申请（专利权）人 上海煦康电子科技有限公司
代理机构 上海思微知识产权代理事务所（普通合伙） 代理人 郑玮
地址 200233 上海市徐汇区田林路140号28幢511幢
法律状态 -

摘要

摘要 本发明提供一种气体预热装置，包括：包含有进气口以及出气口的气包，气包的主体表面绕有电热丝，并且电热丝按照从进气口到出气口由疏到密分布；温度传感器，固定在气包上；温控仪，与温度传感器信号连接；控制元件，其一端与温控仪信号连接，其另一端与电热丝连接；本发明还提供一种气体预热装置的扩散炉，扩散炉的进口与出气口连接；本发明还提供扩散炉的进气预热方法。本发明提供的气体预热装置，气包的主体表面绕有电热丝，并且电热丝按照从进气口到出气口由疏到密分布，能够使气体通过进气口后开始缓慢均匀地加热，最终达到所需温度。