一种石墨烯电极谐振子及其制造方法
基本信息
| 申请号 | CN202010423888.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN111575673B | 公开（公告）日 | 2021-10-08 |
| 申请公布号 | CN111575673B | 申请公布日 | 2021-10-08 |
| 分类号 | C23C16/26;C23C16/02;C23C16/52;G01C19/5691 | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 王飞;卢广锋;王凡 | 申请（专利权）人 | 湖南二零八先进科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京山允知识产权代理事务所（特殊普通合伙） | 代理人 | 胡冰;宋少华 |
| 地址 | 410005 湖南省长沙市开福区芙蓉北路街道金马路377号福天兴业综合楼407房 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提出一种石墨烯电极谐振子的制造方法，包括：1)在管式炉中，将谐振子安置于石英管中，并将充入惰性气体来清除石英管中的空气；2)加热至1000～1200℃保持30～60分钟；3)反应结束时，在惰性气体下系统冷却至室温。本发明还提出一种石墨烯电极谐振子，包括：谐振子石英壳体层和谐振子石墨烯电极层，谐振子石墨烯电极层附着在谐振子石英壳体层内侧。本发明提出的石墨烯镀膜谐振子电导率高，电容效应好，电荷存储多，交换效率高，可以降低谐振子驱动电压。 |
