一种用于吸气剂粉尘隔离的滤膜及其制造方法
基本信息
| 申请号 | CN202110520674.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113262647A | 公开（公告）日 | 2021-08-17 |
| 申请公布号 | CN113262647A | 申请公布日 | 2021-08-17 |
| 分类号 | B01D71/02（2006.01）I;B01D53/22（2006.01）I;B01D67/00（2006.01）I;G01C19/72（2006.01）I;G01C25/00（2006.01）I | 分类 | 一般的物理或化学的方法或装置; |
| 发明人 | 卢广锋;王凡;王飞 | 申请（专利权）人 | 湖南二零八先进科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京山允知识产权代理事务所（特殊普通合伙） | 代理人 | 胡冰;邓玉婷 |
| 地址 | 410005湖南省长沙市开福区芙蓉北路街道金马路377号福天兴业综合楼407房 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提出一种用于吸气剂粉尘隔离的滤膜的制造方法，包括：S1，制备金属掺杂XO2凝胶；S2，将XO2凝胶均匀涂覆在支撑膜上，所述支撑膜耐高温、具有纳米孔以及能被XO2凝胶均匀涂覆；S3，高温煅烧。本发明还提出一种用于吸气剂粉尘隔离的滤膜，包括：支撑膜和金属掺杂XO2膜，其中金属掺杂XO2膜通过溶胶凝胶涂覆法涂覆在支撑膜上，然后经过高温煅烧形成所述金属掺杂陶瓷纳滤膜，所述支撑膜耐高温、具有纳米孔以及能被XO2凝胶均匀涂覆。本发明能有效防止吸气剂颗粒脱落掉入真空腔，消除了激光器件真空腔受粉尘的影响。 |
