一种金属支撑石墨烯分离膜及其制备方法
基本信息
| 申请号 | CN202110053320.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112892240A | 公开（公告）日 | 2021-06-04 |
| 申请公布号 | CN112892240A | 申请公布日 | 2021-06-04 |
| 分类号 | B01D71/02;B01D67/00;B01D69/10;C01B32/194 | 分类 | 一般的物理或化学的方法或装置; |
| 发明人 | 卢广锋;王凡;王飞 | 申请（专利权）人 | 湖南二零八先进科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京山允知识产权代理事务所（特殊普通合伙） | 代理人 | 胡冰;宋少华 |
| 地址 | 410005 湖南省长沙市开福区芙蓉北路街道金马路377号福天兴业综合楼407房 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及石墨烯分离膜技术领域，提出一种金属支撑石墨烯分离膜的制造方法，包括：在金属基底上生长石墨烯膜，形成石墨烯膜‑金属复合结构；在石墨烯膜‑金属复合结构上的石墨烯膜上增加微纳孔；在石墨烯膜‑金属复合结构的金属上贴带微孔的保护膜；腐蚀石墨烯膜‑金属复合结构上的金属侧没有保护膜的金属，使得金属侧形成与保护膜上的预设微孔一致的微孔，使得微孔区域仅有带微纳孔的石墨烯膜。本发明还提出了一种金属支撑石墨烯分离膜，包括：金属基底和石墨烯膜，所述石墨烯膜生长在金属基底上，石墨烯膜具有微纳孔，所述金属基底上具有微孔，所述微孔区域仅有带微纳孔的石墨烯膜。本发明的金属支撑分离膜将粉尘隔离在吸气剂室一侧，消除了激光器件的真空腔受粉尘的影响。 |
