一种碳/碳复合材料的快速低成本CVD致密方法
基本信息
申请号 | CN201810066833.6 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN108220913A | 公开(公告)日 | 2018-06-29 |
申请公布号 | CN108220913A | 申请公布日 | 2018-06-29 |
分类号 | C23C16/26;C23C16/46;C23C16/455 | 分类 | 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
发明人 | 罗昆鹏;姜召阳;陈小飞;曹磊;张贵歧;高晓佳;王春梅;于洪刚;崔树永 | 申请(专利权)人 | 航天睿特碳材料有限公司 |
代理机构 | 北京轻创知识产权代理有限公司 | 代理人 | 谈杰 |
地址 | 253700 山东省德州市庆云红云高新技术产业开发区东环路中段路东2588号 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本发明公开了一种碳/碳复合材料的快速低成本CVD致密方法,将预制体与内芯模装配在一起,进行高温预处理,处理后将预制体与内芯模置于CVD设备沉积室的上下石墨电极之间,加热并通入碳源气体,经过40~200h,即可一次性制备碳/碳复合材料产品。本发明方法有如下优势特点:1.集温差法、限气法以及自发热特点的沉积工艺优势一体,不仅有效预防表层热解碳结壳对沉积致密的影响,增强碳源气体向预制体内扩散的能力,可大幅度提升沉积效率;2.避免增密不均匀问题的出现,产品质量一致;3.生产能耗低,有较低的工艺生产成本;4.气流的控制程度高,气体利用率高;5.预制体与石墨内芯模的脱模容易,操作性好;6.可精确控制产品密度状态,获得准确的产品效果。 |
