一种氧化锌掺杂的钛酸铋钠-钴酸铋压电薄膜及其制备方法
基本信息
| 申请号 | CN201610733319.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN106365634B | 公开（公告）日 | 2018-12-18 |
| 申请公布号 | CN106365634B | 申请公布日 | 2018-12-18 |
| 分类号 | C04B35/475;C04B35/626;C23C14/35;C23C14/08;C23C14/58 | 分类 | 水泥；混凝土；人造石；陶瓷；耐火材料〔4〕; |
| 发明人 | 刘洁;郭菲菲 | 申请（专利权）人 | 河南金山银山生物质科技有限公司 |
| 代理机构 | 郑州天阳专利事务所（普通合伙） | 代理人 | 安阳华森纸业有限责任公司;江西中竹生物质科技有限公司 |
| 地址 | 456400 河南省安阳市滑县文明路南段 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及氧化锌掺杂的钛酸铋钠‑钴酸铋压电薄膜及其制备方法，可有效克服铅基薄膜材料在生产、使用及废弃的过程中个生态环境和人类健康带来的危害的问题，方法是，按照0.97Bi0.5Na0.5TiO3‑0.03BiCoO3+x%wtZnO的化学计量称取原料Bi2O3、NaCO3、TiO2、Co2O3和ZnO，以乙醇为介质球磨，烘干，700℃预烧3h，再以乙醇为介质球磨，烘干，压制成坯片，烧结成BNT‑BC‑ZnO靶材；将BNT‑BC‑ZnO靶材和(111)Pt/Ti/SiO2/Si(001)基片分别安装在靶材托和基片托上，调整靶材和基片的距离，抽真空，加热基片，在背底真空达到10‑4 Pa、基片温度500‑700℃后，通入氩气和氧气，气压0.5‑5Pa；调节溅射功率为50‑200W，靶材起辉后，开始生长薄膜，薄膜生长结束，原位退火，即成，本发明材料配方简单，易制备，产品质量好，环保。 |
