一种连续真空镀膜设备

基本信息

申请号 CN201822114804.0 申请日 -
公开(公告)号 CN209428596U 公开(公告)日 2019-09-24
申请公布号 CN209428596U 申请公布日 2019-09-24
分类号 C23C14/56;C23C14/02 分类 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
发明人 乔晓东;楚殿军;陈静伟 申请(专利权)人 嘉兴浩宇等离子体科技有限公司
代理机构 杭州永航联科专利代理有限公司 代理人 嘉兴浩宇等离子体科技有限公司
地址 314100 浙江省嘉兴市嘉善县罗星街道晋阳东路568号5号楼5408室
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型涉及镀膜技术领域,本实用新型公开了一种连续真空镀膜设备,包括机架,所述机架处设置有用于对零件进行镀膜的镀膜腔体,所述镀膜腔体两侧分别设置有进料腔体及出料腔体,所述镀膜腔体内设置有将零件排出镀膜腔体的第四输送带,所述机架还设置有用于用于清洗零件的清洗机构、用于烘干零件的烘干机构、用于检测零件镀膜情况并排出零件的检测出料机构,所述清洗机构及所述烘干机构设置于所述进料腔体,所述检测出料机构设置于所述出料腔体。本实用新型达到有效除去零件表面的污染物,提高零件镀膜的合格率。