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一种新型24路-3位面-柱面激光PDV探头

基本信息

申请号 CN202023228370.0 申请日 -
公开（公告）号 CN214095941U 公开（公告）日 2021-08-31
申请公布号 CN214095941U 申请公布日 2021-08-31
分类号 G01B11/24（2006.01）I 分类 测量；测试;
发明人 刘钊;刘璐;张丹;冯丽丽;梁亮 申请（专利权）人 西安飞秒光纤技术有限公司
代理机构 西安弘理专利事务所 代理人 戴媛
地址 710000陕西省西安市高新区毕原二路3000号硬科技企业社区3号楼4层
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种新型24路‑3位面‑柱面激光PDV探头，包括24路光纤准直器，24路光纤准直器均分为3组光纤准直器组，任意两组光纤准直器组的出光面均错位排开，每路光纤准直器的出光处均通过支架连接45°棱镜，每路光纤准直器出射的光经45°棱镜反射后相互平行；采用24路，3位面探头设计，实现光纤探头的集成化、多点探测、以及小型化，能够全方位、快速的检测目标，并传输数据；采用45°棱镜实现光路折转，实现器件内部形貌的测量；避免了直接与被测器件表面接触，又可以得到表面轮廓。