一种晶圆对中装置
基本信息
| 申请号 | CN201820449921.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN208093534U | 公开（公告）日 | 2018-11-13 |
| 申请公布号 | CN208093534U | 申请公布日 | 2018-11-13 |
| 分类号 | H01L21/68 | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 赵宁;白富强;陈波 | 申请（专利权）人 | 上海新创达半导体设备技术有限公司 |
| 代理机构 | 上海硕力知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 上海新创达智能科技有限公司;上海新创达半导体设备技术有限公司 |
| 地址 | 201306 上海市浦东新区南汇新城镇环湖西二路888号2幢2区24144室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种晶圆对中装置，其中晶圆对中装置包括控制器，可旋转的支撑台组件，若干夹爪组件，可径向伸缩的装设于支撑台组件上，且布置在晶圆摆放位置的四周侧，张力模块，连接至夹爪组件，驱动机构，通过张力模块与夹爪组件连接，驱动机构通过张力模块带动夹爪组件伸缩以调整晶圆位置，以及缺边寻找传感器，设置在支撑台组件上，以感测晶圆的缺边位置，其中，控制器根据张力模块的张力变化控制夹爪组件对晶圆的夹紧力，并且根据缺边寻找传感器的检测结果控制支撑台组件旋转以带动晶圆到预设角度，控制器控制驱动机构使其带动夹爪组件将晶圆移动到预设位置。实现对于超薄、形状不规则的晶圆的快速对中。 |
