一种可旋转调整的曝光载台
基本信息
| 申请号 | CN201910521533.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN110426920A | 公开（公告）日 | 2021-06-18 |
| 申请公布号 | CN110426920A | 申请公布日 | 2021-06-18 |
| 分类号 | G03F7/20;H01L21/67;H01L21/683;H01L21/687 | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 林锦伟;林伟铭;钟艾东;甘凯杰;翁佩雪;邓丹丹;郭文海;赵玉会 | 申请（专利权）人 | 福建省福联集成电路有限公司 |
| 代理机构 | 福州市景弘专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 林祥翔;徐剑兵 |
| 地址 | 351117 福建省莆田市涵江区江口镇赤港涵新路3688号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开一种可旋转调整的曝光载台，包括上真空载台、下真空载台、旋转机构、水平度模块、控制器和架体，旋转机构包括旋转架和动力单元。先放置一块晶圆于上真空载台上，开启真空将晶圆吸住。再通过控制控制动力单元将旋转架转动180度，使得下真空载台位于上方，放置晶圆并通过真空进行吸附，完成晶圆的放置。此时，通过水平度模块检测旋转机构的水平度，并传输至控制器内，通过控制器控制动力单元调整旋转架，使得旋转架达到符合要求的水平度范围值内。进而对上、下真空载台的晶圆进行分别曝光，达到提高晶圆的曝光质量的目的。 |
