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一种智能测距的晶圆寻边装置和方法

基本信息

申请号 CN201910619571.6 申请日 -
公开（公告）号 CN110459488B 公开（公告）日 2021-06-18
申请公布号 CN110459488B 申请公布日 2021-06-18
分类号 H01L21/67 分类 基本电气元件;
发明人 吴淑芳;陈智广;李立中;黄光伟;马跃辉;吴靖;庄永淳;林伟铭 申请（专利权）人 福建省福联集成电路有限公司
代理机构 福州市景弘专利代理事务所（普通合伙） 代理人 徐剑兵;魏小霞
地址 351117 福建省莆田市涵江区江口镇赤港涵新路3688号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明涉及晶圆寻边技术领域，特别涉及一种智能测距的晶圆寻边装置和方法。所述一种智能测距的晶圆寻边装置，包括：载台、寻边装置底座、旋转手臂、红外感应器、伺服马达红外测距手臂和红外线测距传感器；寻边装置底座连接所述载台；旋转手臂设置于载台上方；红外感应器设置于旋转手臂上；伺服马达红外测距手臂设置于旋转手臂上，红外线测距传感器设置于伺服马达红外测距手臂上；红外线测距传感器用于：测得待测物与伺服马达红外测距手臂的距离L，及测得待测物边缘与红外线测距传感器的距离X。通过该装置，可快速有效地对晶圆的notch角进行寻边，且就算寻边异常时，亦不存在降低机台的妥善率的问题，减少生产成本，提高产线生产力。