一种砷化镓集成电路制造黄光区自动化系统和装置
基本信息
| 申请号 | CN201910575710.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN110429047B | 公开（公告）日 | 2021-06-18 |
| 申请公布号 | CN110429047B | 申请公布日 | 2021-06-18 |
| 分类号 | H01L21/67;H01L21/677;G03F7/20 | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 赵玉会;翁佩雪;郭文海;邓丹丹;林锦伟;林伟铭 | 申请（专利权）人 | 福建省福联集成电路有限公司 |
| 代理机构 | 福州市景弘专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 魏小霞;徐剑兵 |
| 地址 | 351117 福建省莆田市涵江区江口镇赤港涵新路3688号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及砷化镓集成电路技术领域，特别涉及一种砷化镓集成电路制造黄光区自动化系统和装置。所述一种砷化镓集成电路制造黄光区自动化系统，包括：参数控制单元、涂胶单元、曝光单元、显影单元、检测单元和晶舟传送单元；参数控制单元分别连接所述涂胶单元、曝光单元、显影单元、检测单元和晶舟传送单元；所述参数控制单元用于：获取不同单元的参数值，并根据不同的参数值对不同的单元发出不同的指令；所述晶舟传送单元用于：将晶片从一个单元传送至另一个单元。整个作业过程自动化，无需人工参与，不仅节约步骤，提高效率，同时也避免了一些人为操作上造成的错误。 |
