一种探针卡
基本信息
| 申请号 | CN202010315653.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113533929A | 公开（公告）日 | 2021-10-22 |
| 申请公布号 | CN113533929A | 申请公布日 | 2021-10-22 |
| 分类号 | G01R31/28（2006.01）I;G01R1/073（2006.01）I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 牛刚 | 申请（专利权）人 | 中芯国际集成电路制造（天津）有限公司 |
| 代理机构 | 北京市一法律师事务所 | 代理人 | 刘荣娟 |
| 地址 | 300385天津市西青区兴华道19号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本申请提供一种探针卡，所述探针卡包括：基板；以及多个探针，所述多个探针分别与所述基板电连接，其中，所述多个探针的每个探针在所述基板上的投影都落在同一直线上。本申请所述的探针卡，所述多个探针的每个探针在所述基板上的投影都落在同一直线上，探针沿切割道的方向接触焊垫，不会滑出焊垫，探针和焊垫有良好的接触，扎针深度较深，晶圆测试能力较好，并且相较于常规探针卡，只需要简单调整探针的排列方式，没有大的改造，不会提高探针卡造价。 |
