MEMS加速度计及其信号处理方法
基本信息
| 申请号 | CN202110971546.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113419081B | 公开（公告）日 | 2021-11-23 |
| 申请公布号 | CN113419081B | 申请公布日 | 2021-11-23 |
| 分类号 | G01P15/125（2006.01）I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 李森科·伊戈尔·叶夫根耶维奇;徐宝;徐元;吴刚 | 申请（专利权）人 | 杭州高科技融资担保有限公司 |
| 代理机构 | 杭州创智卓英知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 张迪 |
| 地址 | 310000浙江省杭州市滨江区浦沿街道六和路368号一幢（北）三楼D3283室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及MEMS加速度计，包括：第一衬底；检验质量块，弹性连接在所述第一衬底上，且能与所述第一衬底产生相对位移，所述检验质量块包括相对的第一侧、第三侧，以及相对的第二侧、第四侧，所述第一侧、所述第二侧、所述第三侧和所述第四侧均设有两个移动梳齿；固定梳，固定设置于所述第一衬底上，所述固定梳包括固定梳齿和框架，所述固定梳齿与所述移动梳齿一一对应设置；每个所述固定梳齿和最近的所述移动梳齿组成感测梳，所述感测梳的梳齿方向均垂直于所述加速度计的运动方向。本发明能够在不改变传感器设计和信号处理方案的情况下，实时选择四个加速度量程之一的信号，测量精度高、制造成本低。 |
