一种高效晶硅异质结太阳能电池的TCO镀膜工艺方法
基本信息
| 申请号 | CN202010645985.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN111883621A | 公开（公告）日 | 2020-11-03 |
| 申请公布号 | CN111883621A | 申请公布日 | 2020-11-03 |
| 分类号 | H01L31/20(2006.01)I;H01L31/0224(2006.01)I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 汪涛;郭小勇;凌俊;易治凯 | 申请（专利权）人 | 江苏爱康科技股份有限公司 |
| 代理机构 | 江阴市扬子专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 江苏爱康能源研究院有限公司;浙江爱康光电科技有限公司;江苏爱康科技股份有限公司 |
| 地址 | 215600江苏省苏州市张家港市杨舍镇华昌路188号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及的一种高效晶硅异质结太阳能电池的TCO镀膜工艺方法，它包括以下内容：N型硅衬底进行制绒、清洗处理；通过PECVD制备双面本征非晶硅层；选取N型非晶硅膜为受光面掺杂层，使用等离子体增强化学气相沉积制备N型非晶硅掺杂层；使用等离子体化学气相沉积制备P型非晶硅掺杂层；使用RPD方法沉积TCO导电膜，镀膜时工艺腔内通入固定流量的Ar、H2混合气体；通过丝网印刷形成正背面Ag电极；固化使得银栅线与TCO导电膜之间形成良好的欧姆接触；进行测试电池的电性能。本发明提升载流子迁移率与透光性、降低方租，进而提高电池的电流及填充因子，进而提高电池的电性能。 |
