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孔径测量装置及方法

基本信息

申请号	CN201210441146.0	申请日	-
公开（公告）号	CN102997857A	公开（公告）日	2013-03-27
申请公布号	CN102997857A	申请公布日	2013-03-27
分类号	G01B11/08(2006.01)I	分类	测量；测试;
发明人	方文;李啸;苏志锋;刘旭明;陈珏然	申请（专利权）人	福群电子（深圳）有限公司
代理机构	广州华进联合专利商标代理有限公司	代理人	福群电子(深圳)有限公司
地址	518129 广东省深圳市布吉坂田大发埔布龙公路663号
法律状态	-

摘要

一种孔径测量装置及方法，该装置包括：底座；移动平台，设于底座上，并且相对于底座可滑动；平台驱动装置，用于驱动移动平台滑动；两个CCD相机，固定于底座上，并间隔相对设置，两个CCD相机均具有摄像镜头，并且相对安置；两个远心透镜，分别设于两个CCD相机的镜头处；两个光源，分别安装在两个远心透镜中；定位夹具，固定于移动平台上，并且位于两个摄像孔之间；反光镜，靠近定位夹具设置，反光镜的相对两侧面均为反射面；反光镜驱动装置，设于移动平台上，用于驱动反光镜移动；平台驱动装置驱动移动平台在两个CCD相机之间移动。上述孔径测量装置及方法，其可测量具有多层结构的工件的中间孔径，并且检测效率较高、速度较快、可避免刮伤待检测工件。