一种铝氮钪合金靶材的制备方法和应用
基本信息
| 申请号 | CN201811144407.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN109267020B | 公开（公告）日 | 2019-01-25 |
| 申请公布号 | CN109267020B | 申请公布日 | 2019-01-25 |
| 分类号 | C23C14/34(2006.01)I; | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 丁照崇;李勇军;何金江;王兴权;雷继锋;庞欣;贺昕;刘晓 | 申请（专利权）人 | 有研新材料股份有限公司 |
| 代理机构 | 北京众合诚成知识产权代理有限公司 | 代理人 | 陈波 |
| 地址 | 100088北京市海淀区北三环中路43号院有研新材料股份有限公司 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了属于磁控溅射靶材制备技术领域的一种铝氮钪合金靶材的制备方法和应用。该方法以AlN粉、Sc粉为原料，经混合、压力烧结成型、机加工得到铝氮钪合金靶材，所得铝氮钪合金靶材的相对密度大于97％，能够应用于溅射沉积氮化物膜，溅射镀膜过程中，无需通入反应气体氮气即能稳定成膜。 |
