一种硫系多元合金靶材及其制造方法
基本信息
| 申请号 | CN201910526761.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN110396665A | 公开（公告）日 | 2019-11-01 |
| 申请公布号 | CN110396665A | 申请公布日 | 2019-11-01 |
| 分类号 | C23C14/34（2006.01）I; C23C14/35（2006.01）I; C23C14/14（2006.01）I; C22C30/00（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 何金江; 石红春; 万小勇; 刘晓华; 张晓娜; 毛永军; 闫缓; 李勇军 | 申请（专利权）人 | 有研新材料股份有限公司 |
| 代理机构 | 北京众合诚成知识产权代理有限公司 | 代理人 | 陈波 |
| 地址 | 100088 北京市海淀区北三环中路43号院有研新材料股份有限公司 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种硫系多元合金靶材及其制造方法，所述靶材包括的化学元素及其质量分数为：锗10‑30％，砷20‑40％，硒30‑50％，硅0‑10％，碲0‑10％；所述靶材的相对密度≥99.5％，氧含量低于150ppm。所述制造方法首先在真空条件下合成高纯度合金，再采用高速喷嘴气雾化制球形粉末，合金快速凝固成玻璃态，同时增氧很小，最后采用真空热压或者放电等离子体烧结实现高致密烧结成形，烧结过程中不存在污染问题。采用本发明制备的硫系多元合金靶材的综合性能好，组织性能优异，密度高，氧含量低。 |
