籽晶清洗用置放结构及应用于锗单晶生长的籽晶清洗装置
基本信息
申请号 | CN202022910260.6 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN214736104U | 公开(公告)日 | 2021-11-16 |
申请公布号 | CN214736104U | 申请公布日 | 2021-11-16 |
分类号 | C23G3/00(2006.01)I;C30B29/08(2006.01)I;C30B15/36(2006.01)I | 分类 | 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
发明人 | 王博;李燕;柴晨;雷同光;王宇;冯德伸;于洪国;林泉 | 申请(专利权)人 | 有研新材料股份有限公司 |
代理机构 | 北京辰权知识产权代理有限公司 | 代理人 | 金铭 |
地址 | 100089北京市海淀区北三环中路43号 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本实用新型提供了一种籽晶清洗用置放结构及应用于锗单晶生长的籽晶清洗装置,该籽晶清洗用置放结构包括框架本体和多个限位凹槽,框架本体包括至少三个侧板,所述至少三个侧板均竖直设置,并且所述框架本体为采用所述至少三个侧板合围形成;所述多个限位凹槽均设置在所述侧板的顶部,用于盛放籽晶。该籽晶清洗用置放结构通过在侧板的顶部侧面上设置限位凹槽,能更大限度地将籽晶全部浸润在清洗液中,清洗较为彻底;同时还起到限位作用,避免籽晶之间产生磕碰,使得籽晶清洗更加彻底、安全。 |
