一种掺氮的铝钪合金靶材及其制造方法
基本信息
| 申请号 | CN201811048555.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN109161858B | 公开（公告）日 | 2020-08-07 |
| 申请公布号 | CN109161858B | 申请公布日 | 2020-08-07 |
| 分类号 | C23C14/34;C23C14/35;C23C14/14 | 分类 | - |
| 发明人 | 丁照崇;王兴权;张晓娜;何金江;李勇军;雷继锋;庞欣;贺昕 | 申请（专利权）人 | 有研新材料股份有限公司 |
| 代理机构 | 北京众合诚成知识产权代理有限公司 | 代理人 | 朱琨 |
| 地址 | 100088 北京市海淀区北三环中路43号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了属于磁控溅射靶材制造技术领域的一种掺氮的铝钪合金靶材及其制造方法。铝氮钪合金靶材化学成分为(AlxSc(1‑x))(1‑y)(AlN)y，其中以AlN形式对铝钪合金进行掺氮，掺氮的铝钪合金靶材以AlSc合金粉、AlN粉为原料，通过压力烧结工艺成型后由机加工制造出掺氮的铝钪合金单体成品靶材，或与背板焊接为复合成品靶材。采用该合金靶材溅射沉积氮化物膜，可降低膜层内氮原子缺失，确保薄膜合金成分比例。 |
