坩埚杆及直拉单晶炉
基本信息
| 申请号 | CN201922421356.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN211471632U | 公开（公告）日 | 2020-09-11 |
| 申请公布号 | CN211471632U | 申请公布日 | 2020-09-11 |
| 分类号 | C30B15/00(2006.01)I | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
| 发明人 | 魏炜;雷同光;李燕 | 申请（专利权）人 | 有研新材料股份有限公司 |
| 代理机构 | 北京辰权知识产权代理有限公司 | 代理人 | 董李欣 |
| 地址 | 065201 河北省廊坊市三河市燕郊兴都村南有研科技集团有限公司二部 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型提供了一种坩埚杆及直拉单晶炉，所述坩埚杆的内部具有冷却水循环管路，并且所述冷却水循环管路沿着所述坩埚杆的高度方向设置；所述冷却水循环管路的进水口和至少一个出水口均设置在所述坩埚杆的底部。该坩埚杆能有效降低坩埚杆实用过程中的温度，有效保护密封结构，最终保障单晶成品率。 |
