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监测热偶固定装置

基本信息

申请号 CN202022996666.0 申请日 -
公开（公告）号 CN214372975U 公开（公告）日 2021-10-08
申请公布号 CN214372975U 申请公布日 2021-10-08
分类号 G01K1/143（2021.01）I 分类 测量；测试;
发明人 权盼;张路;马英俊;张洁;张賡;许兴;林泉;刘向前 申请（专利权）人 有研新材料股份有限公司
代理机构 北京辰权知识产权代理有限公司 代理人 金铭
地址 100089北京市海淀区北三环中路43号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型涉及半导体器件加工制造领域，具体涉及一种监测热偶固定装置，包括：套管，具有用于容纳所述监测热偶的管腔,所述套管的外壁面上标有刻度；工装卡具，包括本体，所述本体具有套管孔以及安装孔，所述套管孔用于容纳所述套管；支撑杆，所述工装卡具通过所述安装孔安装在所述支撑杆上，以将所述工装卡具吊装在待测温石英管的上方。通过使用带刻度的套管固定监测热偶，并通过工装卡具固定在靠近石英管外表面的位置，解决了监测热偶位置不准确，重复性较差的问题，使得监测热偶得以精确固定，提高了监测热偶的测温的准确性。