一种用于硅芯拉制时提高硅芯结晶速度的吹气装置
基本信息
申请号 | CN201921012072.2 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN210560875U | 公开(公告)日 | 2020-05-19 |
申请公布号 | CN210560875U | 申请公布日 | 2020-05-19 |
分类号 | C30B27/02;C30B29/06 | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
发明人 | 邵玮;蔺红辉;戚振华 | 申请(专利权)人 | 洛阳金诺机械工程有限公司 |
代理机构 | - | 代理人 | - |
地址 | 471000 河南省洛阳市高新开发区丰华路6号银昆科技园1号楼四层D10 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 一种用于硅芯拉制时提高硅芯结晶速度的吹气装置,涉及人工晶体领域,本实用新型在每个吹气管(4)的进气端分别设置节流阀(2),可以对不同结晶温度的拉制孔实现吹气量的调节,这样可以保证每个结晶区的结晶温度一致,进而实现多根硅芯的同时拉制,有效的保证了硅芯质量等,硅芯的快速均匀冷却可以提高晶体的拉制速度、增加所拉制的硅芯的直径,而硅芯直径的加大,又使其后期在还原炉内的生长速度加快,由此提高了生产效率等,本实用新型具有结构简单,使用效果好等优点,适合大范围的推广和应用。 |
