一种自聚焦透镜成品折射率分布检测方法及系统
基本信息
申请号 | CN202111200904.5 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN113639973A | 公开(公告)日 | 2021-11-12 |
申请公布号 | CN113639973A | 申请公布日 | 2021-11-12 |
分类号 | G01M11/02(2006.01)I;G01N21/45(2006.01)I | 分类 | 测量;测试; |
发明人 | 不公告发明人 | 申请(专利权)人 | 高视科技(苏州)股份有限公司 |
代理机构 | 北京远大卓悦知识产权代理有限公司 | 代理人 | 贺杰 |
地址 | 215000江苏省苏州市高新区嘉陵江路198号11幢 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本发明提供一种自聚焦透镜成品折射率分布检测方法及系统,通过激光光路结构的设计,无需对自聚焦透镜进行切片处理,直接对自聚焦透镜成品进行检测,增加了自聚焦透镜折射率分布的检测效率;且本发明中参考光束、测试光束共光路,属于斐索干涉光路,采用自聚焦透镜前表面反射光与标准球面镜反射光的干涉条纹解析自聚焦透镜折射率分布,避免了传统自聚焦透镜折射率分布检测方法中光学元件过多的问题,且其他光学元件的偏离对光程差的影响几乎相同,可克服环境的干扰。 |
