一种基于反射激光空间分布的物体三维形貌测量方法
基本信息
| 申请号 | CN202111200906.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113639663A | 公开（公告）日 | 2021-11-12 |
| 申请公布号 | CN113639663A | 申请公布日 | 2021-11-12 |
| 分类号 | G01B11/24（2006.01）I;G06T17/00（2006.01）I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 不公告发明人 | 申请（专利权）人 | 高视科技（苏州）股份有限公司 |
| 代理机构 | 北京远大卓悦知识产权代理有限公司 | 代理人 | 贺杰 |
| 地址 | 215000江苏省苏州市高新区嘉陵江路198号11幢 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种基于反射激光空间分布的物体三维形貌测量方法。基于反射激光空间分布提出了一种物体三维形貌测量方法，通过两束激光光束得到两个位置探测器的相关数据计算出被测点的高度信息和斜度信息，根据若干被测点的高度信息和斜度信息还原待测表面的三维形貌。相对于现有技术中根据被测点的高度还原的三维形貌更加精确，更能够满足半导体器件的表面形貌测量的高精度要求。 |
