一种可调节性坩埚旋转加热器
基本信息
申请号 | CN201521107961.9 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN205368545U | 公开(公告)日 | 2016-07-06 |
申请公布号 | CN205368545U | 申请公布日 | 2016-07-06 |
分类号 | C30B35/00(2006.01)I | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
发明人 | 陈博;杨雪飞;王伟 | 申请(专利权)人 | 光为绿色能源科技有限公司 |
代理机构 | 北京华创博为知识产权代理有限公司 | 代理人 | 光为绿色新能源股份有限公司;保定光为绿色能源科技有限公司;光为绿色能源科技有限公司 |
地址 | 074000 河北省保定市高碑店市新工业园区东方路66号 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本实用新型提供了一种可调节性坩埚旋转加热器,包括可伸缩性拐臂(1)、可调节连杆(2)、侧部加热壁(3)和底部加热壁(4),底部加热壁底面与侧壁加热器之间使用可伸缩性拐臂连接,通过调节可伸缩性拐臂的长度进行侧部加热壁的横向位移。可伸缩性拐臂与侧部加热壁之间使用可调节连杆连接,通过改变可调节连杆与可伸缩性拐臂之间的位置,并用螺母卡位固定,实现侧部加热壁的纵向位移。本实用新型的加热器,通过可伸缩性拐臂和可调节连杆的配合使侧壁加热器能够进行横向和纵向的位移,从而适应不同尺寸的坩埚,使坩埚侧壁与侧部加热壁紧密贴合,达到坩埚受热均匀的效果。 |
