首页/ 托伦斯精密机械（上海）有限公司/ 专利详情

一种真空插板开关阀

基本信息

申请号 CN201921807612.6 申请日 -
公开（公告）号 CN211820816U 公开（公告）日 2020-10-30
申请公布号 CN211820816U 申请公布日 2020-10-30
分类号 F16K3/18(2006.01)I 分类 -
发明人 牛建新;叶云霞;戴峰泽;任旭东 申请（专利权）人 托伦斯精密机械（上海）有限公司
代理机构 南京正联知识产权代理有限公司 代理人 卢霞
地址 200120上海市浦东新区合庆工业区东胜路308号2幢1楼B区
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种真空插板开关阀，包括控制系统、位置传感器、升降轴、阀门、密封圈、阀体、外支架、气缸二、楔形滑块、限位块、复位装置、楔形升降块、气缸一、导轨和内支架。本实用新型的真空插板开关阀具有三个不同的工作状态，即开启状态、关闭状态以及锁紧状态；当需要锁紧开关阀时，动作顺序为开启状态‑关闭‑锁紧；当需要开启开关阀时，动作顺序为锁紧状态‑关闭‑开启。本实用新型的真空插板开关阀具有结构紧凑，密封可靠性高的特点，可应用于半导体刻蚀真空反映腔的密封。