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一种真空插板开关阀的密封结构

基本信息

申请号 CN201921808501.7 申请日 -
公开（公告）号 CN211820960U 公开（公告）日 2020-10-30
申请公布号 CN211820960U 申请公布日 2020-10-30
分类号 F16K31/12(2006.01)I;F16K27/00(2006.01)I 分类 -
发明人 牛建新;戴峰泽;叶云霞;任旭东 申请（专利权）人 托伦斯精密机械（上海）有限公司
代理机构 南京正联知识产权代理有限公司 代理人 卢霞
地址 200120上海市浦东新区合庆工业区东胜路308号2幢1楼B区
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开一种真空插板开关阀的密封结构，包括升降轴、气缸、阀门、密封圈和阀体；升降轴上安装有四个气缸；气缸的活动端安装有阀门；阀门的右端加工有燕尾止口；阀门的右端安装有密封圈，密封圈的密封面为平面型密封面；阀体的左端设有微织构密封面；密封状态时，密封圈的平面型密封面与阀体的微织构密封面相接触；四个气缸均匀分布于阀门的四个角点，且正对于密封圈。本实用新型大幅度提高了真空插板开关阀的密封效果和可靠性，可应用于半导体刻蚀反应腔的密封。