一种真空插板开关阀
基本信息
| 申请号 | CN201911023818.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN110725962A | 公开（公告）日 | 2020-01-24 |
| 申请公布号 | CN110725962A | 申请公布日 | 2020-01-24 |
| 分类号 | F16K3/18;F16K3/316;F16K31/12;F16K37/00;F15B21/08 | 分类 | 工程元件或部件；为产生和保持机器或设备的有效运行的一般措施；一般绝热; |
| 发明人 | 牛建新;叶云霞;戴峰泽;任旭东 | 申请（专利权）人 | 托伦斯精密机械（上海）有限公司 |
| 代理机构 | 南京正联知识产权代理有限公司 | 代理人 | 卢霞 |
| 地址 | 200120 上海市浦东新区合庆工业区东胜路308号2幢1楼B区 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种真空插板开关阀，包括控制系统、位置传感器、升降轴、阀门、密封圈、阀门、外支架、气缸二、契形滑块、限位块、复位装置、契形升降块、气缸一、导轨和内支架。本发明的真空插板开关阀具有三个不同的工作状态，即开启状态、关闭状态以及锁紧状态；当需要锁紧开关阀时，动作顺序为开启状态‑关闭‑锁紧；当需要开启开关阀时，动作顺序为锁紧状态‑关闭‑开启。本发明的真空插板开关阀具有结构紧凑，密封可靠性高的特点，可应用于半导体刻蚀真空反映腔的密封。 |
