一种真空插板开关阀的密封结构
基本信息
| 申请号 | CN201911023140.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN110805738A | 公开（公告）日 | 2020-02-18 |
| 申请公布号 | CN110805738A | 申请公布日 | 2020-02-18 |
| 分类号 | F16K31/12;F16K27/00 | 分类 | 工程元件或部件；为产生和保持机器或设备的有效运行的一般措施；一般绝热; |
| 发明人 | 牛建新;戴峰泽;叶云霞;任旭东 | 申请（专利权）人 | 托伦斯精密机械（上海）有限公司 |
| 代理机构 | 南京正联知识产权代理有限公司 | 代理人 | 卢霞 |
| 地址 | 200120 上海市浦东新区合庆工业区东胜路308号2幢1楼B区 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开一种真空插板开关阀的密封结构，包括升降轴、气缸、阀门、密封垫和阀体；升降轴上安装有四个气缸；气缸的活动端安装有阀门；阀门的右端加工有燕尾止口；阀门的右端安装有密封圈，密封圈的密封面为平面型密封面；阀体的左端设有微织构密封面；密封状态时，密封圈的平面型密封面与阀体的微织构密封面相接触；四个气缸均匀分布于阀门的四个角点，且正对于密封圈。本发明大幅度提高了真空插板开关阀的密封效果和可靠性，可应用于半导体刻蚀反应腔的密封。 |
