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一种晶片用夹持装置

基本信息

申请号 CN202023305098.1 申请日 -
公开（公告）号 CN214123857U 公开（公告）日 2021-09-03
申请公布号 CN214123857U 申请公布日 2021-09-03
分类号 H01L21/687（2006.01）I 分类 基本电气元件;
发明人 朱亮;沈文杰;谢龙辉;谢永旭;倪少博;张帅;陈道光;吕佳鹏 申请（专利权）人 浙江晶盛机电股份有限公司
代理机构 杭州中成专利事务所有限公司 代理人 周世骏
地址 312300浙江省绍兴市上虞区通江西路218号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型属于晶片抛光设备领域，具体涉及一种晶片用夹持装置。夹持装置设于支撑座上，支撑座与摆臂连接，摆臂在伺服电机的驱动下能上下摆动。夹持装置包括夹持安装座、夹持气缸、后夹紧块与前夹紧块；夹持气缸固定在夹持安装座前侧，气缸的活塞杆与连接块连接，平行设置的两根导向杆的一端固定在连接块上，另一端与后夹持块连接；夹持安装座后侧固设于连轴，前夹持块通过安装在连轴上，前夹持块和后夹持块的形状和加持角度与晶片外缘适配。本实用新型采用的是夹持方式，不接触晶片的上下表面，减少了对晶片上下表面的损伤。