一种可自动贴合抛光布的晶片固定装置
基本信息
| 申请号 | CN202023217012.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN214123856U | 公开（公告）日 | 2021-09-03 |
| 申请公布号 | CN214123856U | 申请公布日 | 2021-09-03 |
| 分类号 | H01L21/683（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 朱亮;沈文杰;谢龙辉;谢永旭;倪少博;张帅;陈道光;吕佳鹏 | 申请（专利权）人 | 浙江晶盛机电股份有限公司 |
| 代理机构 | 杭州中成专利事务所有限公司 | 代理人 | 周世骏 |
| 地址 | 312300浙江省绍兴市上虞区通江西路218号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型属于晶片抛光设备领域，具体涉及一种可自动贴合抛光布的晶片固定装置。包括轴承座，轴承座内通过轴承设有空心旋转轴，旋转轴顶端设有真空吸盘，转轴底端连接真空旋转接头；真空吸盘上端面上设有多圈同心环形沟槽，轴承座上端面还设有锁紧装置，根据工况能通过锁紧装置对旋转轴进行锁紧。本实用新型本实用新型采用的晶片固定方式，不仅可以满足V槽型晶片的V槽抛光，同时也能平边型晶片的平边抛光，并可使抛光时晶片完全贴合抛光布，提高了抛光质量。 |
